CMP領域的各位先進大家好， 最近在研究CMP的重要性及未來的發展趨勢，同時也想深入了解如何制定slurry和clean的 配方。 目前有找到一份市場報告，但價格高達5000美元， https://www.gii.tw/report/if1473283-cmp-equipment-consumables-market-analysis. html 因此想請教各位先進，是否有推薦的CMP權威書籍或相關文獻可以參考？ 先行感謝各位的寶貴分享，感恩！ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt-web.org.tw), 來自: 61.219.91.212 (臺灣) ※ 文章網址: https://ptt-web.org.tw/Tech_Job/M.1726811949.A.E92

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