https://www.cna.com.tw/news/ait/202409140249.aspx 中國實現國產DUV曝光機 可生產8奈米及以下晶片 楊昇儒 中國工信部近日公布一項通知顯示，中國已取得重大技術突破，研發出深紫外光曝光機（ DUV），可生產8奈米及以下晶片，目前正在推廣應用。 中國工業和信息化部官網9日公布「首台（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄（2024年 版）」的通知，下發地方要求加強產業、財政、金融、科技等國家支持政策的協同。 中國工信部稱，重大技術裝備是國之重器，事關綜合國力和國家安全。「中國首台（套） 重大技術裝備」是指國內實現重大技術突破、擁有智慧財產權、尚未取得明顯市場業績的 裝備產品，包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。 這份目錄顯示，在積體電路生產裝備，其中一項是「氟化氬光刻機」（DUV曝光機），核 心技術指標是「晶圓直徑300mm，照明波長248nm，分辨率≦65nm，套刻≦8nm」。這也代 表，這台國產DUV可生產8奈米及以下晶片。 中國大陸科技自媒體今天轉發消息後稱，中國自己的DUV曝光機終於來了，雖然與荷蘭艾 司摩爾（ASML）曝光機存在代差，至少己填補空白，可控可用，期待之後能研發出更先進 的極紫外光曝光機（EUV）。 美國5日才宣布收緊製造先進半導體設備所需機器的出口管制，荷蘭政府隔天跟進，宣布 擴大限制半導體製造設備出口，。 路透社報導，ASML的1970i和1980i深紫外光曝光機（DUV）輸出中國會受到影響，兩款機 型大約是ASML所屬DUV產品線的中階位置。 中國若實現國產8奈米及以下製程DUV，未來絕大多數晶片製造，將不用受制於ASML。不過 ，截至目前，尚無中國官方與廠商宣布這項消息。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt-web.org.tw), 來自: 111.253.173.196 (臺灣) ※ 文章網址: https://ptt-web.org.tw/Tech_Job/M.1726382798.A.967

推 s213092921 : http://i.imgur.com/lF394HI.jpg 09/15 14:49

噓 flower42 : 一次曝不出來就曝兩次 嘻嘻 09/15 14:51

推 magic404011 : 八奈米以下要被捲爛了 09/15 14:51

→ dog9804 : 光源248nm 做8奈米.. 搞笑嗎 套刻是純疊對吧 09/15 14:52

推 godog : https://reurl.cc/A23b7Y 09/15 14:55

推 grado0802: 隔壁桌好像是包養SD在見面XD 09/15 14:55

→ godog : 2.1集成電路生產裝備的2.1.6 09/15 14:56

→ s213092921 : 這是拿來製作28nm以上晶片的國產DUV，目前官方已公 09/15 14:56

→ s213092921 : 開的 09/15 14:56

→ godog : 中央社那個數據是錯的 09/15 14:57

推 japanner : 至少人家已經做的出這樣了，某樓在繼續笑啊，有本 09/15 15:15

推 smilejin: aSugarDating = 包養SD? 09/15 15:15

→ japanner : 事你去做阿 09/15 15:15

推 ericisfish : 笑支那就開始崩潰叫人自己去弄喔，大絕這麼快就開 09/15 15:16

→ ericisfish : 了？ 09/15 15:16

推 Bugquan : 這篇就亂寫的啊，我看知乎上的評論，也沒啥人說什 09/15 15:22

→ Bugquan : 麼用來做8nm 09/15 15:22

推 qusekii: 未看先猜這包養網 09/15 15:22

推 F93935 : 嘻嘻曝光機 光罩做得出來嗎 09/15 15:24

→ cityhunter04: 用手刻就能到3奈米了，研發機器幹嘛？ 09/15 15:26

噓 cityhunter04: 取笑強國就有人出來護航，舔共x有沒有那麼玻璃心啊 09/15 15:28

→ cityhunter04: ？ 09/15 15:28

推 tpegioe : 台灣還要幾年才能量產DUV機台？ 09/15 15:35

推 Y949731: 有人知道包養SD是什麼嗎 09/15 15:35

噓 zombiechen : 台灣能買到更好的機台，幹嘛自製？ 09/15 15:36

推 hortl233 : 沒辦法，大中華思想的腦子永遠是這樣哈哈 09/15 15:37

推 skyarcher : 248 不就K line而已 09/15 15:39

推 beesee : 能自製就是隱憂了，難保挖角碰過euv的工程師 09/15 15:41

推 tpegioe : 台灣能自製DUV，成本和良率一定比ASML更優，更不用 09/15 15:50

推 T730733: 一定又是這包養網 09/15 15:50

→ tpegioe : 說能幫助成熟製程代工廠降低成本、增加競爭力 09/15 15:51

→ tpegioe : 如果台灣沒有台積電，台灣依然能花錢使用外國廠商 09/15 15:54

→ tpegioe : 的先進製程，但半導體產業絕對比今日萎縮很多 09/15 15:55

推 tpegioe : 台灣的晶片設計能起飛就是因為晶片自製能力強，能 09/15 15:59

推 good5755 : 248？上海微電子那台SSA/800-10W據傳是193nm光源耶 09/15 16:00

推 FireStation: 包養平台不意外 09/15 16:00

噓 Westzone : 黃光相關的看到這篇文章會笑死..KrF講能做到8nm，傻 09/15 16:00

→ tpegioe : 和代工廠在無語言與文化隔閡的情況下迭代更新技術 09/15 16:00

→ Westzone : 子才信..洗腦韭菜用的 09/15 16:00

→ q2825842 : 傻了才會想全部自己來，成本效益只會比別人更差不 09/15 16:01

→ q2825842 : 會更好，最後淪為宣傳和騙補貼 09/15 16:01

推 Thobel: 覺得包養網EY嗎 09/15 16:01

推 s213092921 : 感謝美國爸爸制裁中國，逼出國產光刻機^^ 09/15 16:03

推 tpegioe : 這篇怪的是ArF和KrF的數據亂湊合著用 09/15 16:05

推 da1234527123: 逼出了個垃圾東西，光這波就讓很多人的口袋飽飽了 09/15 16:05

→ tpegioe : 臺基現在不就晶圓代工和封裝都想吃下，難道台積是 09/15 16:05

推 orz44444 : 這麼快就搞出來!!!猜有ASML的技術移轉~~ 09/15 16:06

推 Reji: 包養網站葉配啦 09/15 16:06

→ tpegioe : 傻了才想包下封裝？ 09/15 16:06

→ orz44444 : ASM沒辦法賣機器那就賣技術,無法可管XDDD 09/15 16:08

→ orz44444 : ASML沒辦法賣機器那就賣技術,無法可管XDDD 09/15 16:08

推 king9122 : 艾司摩爾的光刻機都要全球各頂尖企業的產品合力才有 09/15 16:17

→ king9122 : 你一個被制裁的國家要後追我相信可行，但唬太大真的 09/15 16:19

推 Hathael: 記者收了包養網多少啦 09/15 16:19

→ king9122 : 沒幫助，只是在壯膽而已，是看不起資本世界的合作 09/15 16:19

推 Merman19 : 真的有實際生產再吹也不遲阿 09/15 16:31

噓 ideo : KrF 248波長能曝出8nm?那根本就不需要EUV了，到底 09/15 16:39

→ ideo : 是懂不懂啊？ 09/15 16:39

推 wts4832 : 快點做出來吧，科技業晶片賣太貴賺太多，就需要中 09/15 16:52

推 yovroc: 包養真亂 09/15 16:52

→ wts4832 : 國來卷，降低售價刺激應用科技發展 09/15 16:52

噓 okm11328 : 還在騙補助 09/15 16:53

推 PerfectID : 台灣人自卑,先在成熟製程取代台灣吧 09/15 16:53

推 suspeper : 氟化氬。是ArF. 波長193nn 09/15 17:08

推 thomashsue : 氟化氬（ArF)光源 248？？？？？ 09/15 17:10

推 helgalie: 演藝圈一堆包養好嗎 09/15 17:10

推 PTIMIKE : 又來了，中國或成最大贏家？ 09/15 17:14

推 thomashsue : 某幾樓急著洗要小心是何居心…. 本意是沒錯 但問 09/15 17:16

→ thomashsue : 題是這篇spec都寫錯的農場文認真有意義嗎…. 09/15 17:16

推 iMANIA : 又贏麻了 09/15 17:26

推 ejru65m4 : 虛 不要擋到人家騙錢 09/15 17:32

推 OREOMZA: 政治圈一堆包養好嗎 09/15 17:32

→ timlu : 逆向工程+捲...看誰撐的久 09/15 17:36

推 Shepherd1987: https://i.imgur.com/7zs216q.jpeg 09/15 17:43

→ Shepherd1987: 內容是193nm啊 推文怎麼歪去248? 09/15 17:43

→ leviathen : 中國就很會吹，最好是有可能 09/15 17:43

推 amethystboy : 理智點 讓市場說話好嗎 09/15 17:47

推 punjab: 有錢人一堆包養好嗎 09/15 17:47

→ Shepherd1987: 喔喔, 是內文寫248… 記者不意外 09/15 17:51

推 hoyo992 : 我完全外行。有人可以科普一下嗎 09/15 18:02

推 NEWinx : 太好了，ASML快全面離開中國 09/15 18:21

推 zonezone : 就算193的ArF要做8nm也是唬爛啦，能做泡水機再來騙 09/15 19:02

→ zonezone : 好嗎 09/15 19:02

推 sashare: 學生妹被包養多嗎 09/15 19:02

推 momo348894 : 不錯阿這樣之後我們也不用怕川普限制我的設備多一 09/15 19:13

→ momo348894 : 個選擇 09/15 19:13

→ momo348894 : 川普眼裡我們跟中國人根本同樣收到同等制裁完全不懷 09/15 19:14

→ momo348894 : 疑 09/15 19:14

→ momo348894 : CNn.ABc又不多努力控製其他媒體風向.. 09/15 19:15

推 sijiex: 有錢人為啥都想包養 09/15 19:15

推 ddsam : 台積反而巴不得中國研發成功吧 asml價格太硬 09/15 20:43

推 Flyingheart : 所以有沒有專家可以解釋這台能做到多小 09/15 20:50

推 Bugquan : 能做到跟習近平的GG一樣小 09/15 21:13

→ guteres : 不要懷疑對岸山寨的能力 09/15 21:18

→ jerrylin : 喔好棒喔加油喔哈哈哈 09/15 21:22

推 VLADINA: 有錢人為啥都想包養 09/15 21:22

推 thomashsue : 如果是用LELE那種方式的話 理論上極限尺寸應該是 09/15 21:30

→ thomashsue : 跟wafer stage精度比較有關吧 完全不考慮yield跟 09/15 21:30

→ thomashsue : cost的狀況下 09/15 21:30

推 kyle5241 : 畢竟所謂的8nm指的是fin 寬度的話～ 其實控制space 09/15 21:35

→ kyle5241 : r 厚度就好～pitch to pitch 其實比這個寬多了 09/15 21:35

推 odemagus: 亞洲最大包養網上線啦 09/15 21:35

→ faniour : 這種東西要是真的，他們會高調開發表會的 09/15 21:46

→ faniour : 是不是又跟過去一樣，又重新國產化一次? 09/15 21:48

推 truelove356 : 台灣還要幾年才能量產DUV機台？ 09/15 21:55

推 x512319 : 台灣沒被科技封鎖要研發曝光機幹嘛？ 09/15 22:10

推 lifeowner : 台灣永遠都以為想買什麼都買得到 當年的F16 大概等 09/15 22:47

推 yes500: 我哥上包養網被我抓包.. 09/15 22:47

→ lifeowner : 了20年才有 09/15 22:47

推 ots625 : 國外設備貴又香，國產太便宜沒好貨 09/15 23:16

→ guteres : 研發幹什麼? 不要到時被卡一堆才在哭夭 09/16 00:04

推 kyle5241 : 中國研發好處就是不用擔心侵犯專利問題～ 但台灣廠 09/16 07:07

→ kyle5241 : 商如果使用就不知道會不會被告就是了 09/16 07:07

推 alexantiy: 有人包養過洋鬼子嗎 09/16 07:07

推 kentin : 某樓是不是傻了啊自製DUV幹嘛，這麼容易美國為什麼 09/16 09:14

→ kentin : 不自己搞間像ASML跟台積電不就好了 09/16 09:14

→ kentin : 而且AMSL台積可是有入股的 09/16 09:16

推 zonppp : 所以中芯開始使用了? 真的有機台的存在? 09/16 09:32

推 xc2v : 還蠻厲害的 09/16 09:34

推 sowrey: 有錢人為啥都想包養 09/16 09:34

→ yunf : 他的那種規格跟台灣的一定不一樣就跟以前點距的算法 09/16 09:39

→ yunf : 一樣但差別是他的市場夠大他只要做內宣就好 09/16 09:39

推 worf : 贏了 09/16 11:13

→ NexusPrime : 某樓大概是那種什麼事都要反觀臺灣的人 09/16 13:40

推 japan428 : 外行仔先問一下，半導體發展歷史上蘇聯閉門造車被 09/16 13:50

推 cw758: 有人被洋鬼子包養過嗎 09/16 13:50

→ japan428 : 眾多國家組成的產業鏈打臉，中國現在狀況是比當年 09/16 13:50

→ japan428 : 蘇聯好點，沒有封鎖到只能靠偷搶拐騙取得技術，但 09/16 13:50

→ japan428 : 自己要從機台特用化學品一路做到製成晶片，真的有 09/16 13:50

→ japan428 : 機會可以成功達成？ 09/16 13:50

→ jackliao1990: 人家蘇聯老爹基礎科學比中共兒子強很多 09/16 14:06

推 ludi: 到底要多有錢才會想包養 09/16 14:06

→ jackliao1990: 蘇聯比美國早太空漫步 09/16 14:06

→ jackliao1990: 蘇聯科學家得到的諾貝爾獎/菲爾茲獎也>>>>>>>>中共 09/16 14:07

→ jackliao1990: 蘇聯計算機一度比美國先進 09/16 14:08

→ jackliao1990: 蘇聯為了突破封鎖還推3進制電腦 09/16 14:09

→ jackliao1990: 這麼強最終還是因為不想民用而被美國取代 09/16 14:10

推 peernut: 包養SD = aSugarDating 09/16 14:10

推 thomashsue : 拉晶棒的技術很多都蘇聯貢獻出來的 09/16 16:02

推 nxuanr : 台積電被超越了 台灣真慘 09/16 20:32

推 zonppp : 樓上舔的姿勢也太噁心 09/16 21:11

推 eega : overlay 8nm 變成可以做8奈米，這記者真是... 09/16 22:44

推 YHHinNTU : 連193都不是嗎 09/17 06:15

推 xikimi: 閨蜜上包養網還推薦我... 09/17 06:15

→ unima : 有突破應該會很快了！以往太空造船高鐵電車都如此 09/17 11:14

→ unima : ！ 09/17 11:14

推 linein : 台灣連引擎都做不出來還笑別人 09/17 12:25

噓 momo348894 : 美國之後會不會用duv euv搞台積電還真不好說 09/17 14:24

噓 momo348894 : 川普說關稅後還有一句貿易壁壘 09/17 14:26

推 Avero: 包養? 09/17 14:26

→ momo348894 : 貿易壁壘定義就很廣了..剛被暗殺除了abc.cnn其他怕 09/17 14:27

→ momo348894 : 是民調又要起來了 09/17 14:27

推 steven1014 : 做出這種爛東西是要承認什麼？ 09/18 11:06

→ Casper50 : 居然沒人問良率？ 09/18 14:58